精密平臺的制作特點

精密平臺：
         一種五自由度精密定位平臺，采用壓電驅(qū)動器驅(qū) 動，其特征在于該平臺由基體及其底部的**支座和**支座構(gòu)成，該基體包含**動平臺、**動平臺和第三動平臺，其中**動平臺實現(xiàn)x方向平動，**動平臺實現(xiàn)y方向平動，第三動平臺實現(xiàn)z軸轉(zhuǎn)動，**支座和**支座單獨伸長，通過伸長量的同異帶動基體實現(xiàn)z方向平移和一維轉(zhuǎn)動，
         所述的第三動平臺分別通過**轉(zhuǎn)動副柔性鉸鏈和**轉(zhuǎn)動副柔性鉸鏈與底部的**支座和**支座連接。本發(fā)明五自由度精密定位平臺，可以實現(xiàn)納米級的定位精度，而且具有易于加工、結(jié)構(gòu)緊湊、體積小、位移分辨率高、頻率響應(yīng)快和控制簡單的特點。
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